德國(guó)IFM易福門PI2798壓力傳感器選購指南

德國(guó)IFM易福門PI2798壓力傳感器中，彈性敏感元件可分為感受元件和彈性應(yīng)變?cè)?。感受元件把壓力轉(zhuǎn)換為力傳遞到彈性應(yīng)變?cè)?yīng)變最敏感的部位，而應(yīng)變片則貼在彈性應(yīng)變?cè)淖畲髴?yīng)變處。實(shí)際上較復(fù)雜的應(yīng)變管式和應(yīng)變梁式都屬于這種型式。感受元件有膜片、膜盒、波紋管、波登管等，彈性應(yīng)變?cè)袘冶哿?、固定梁、Π形梁?環(huán)形梁、薄壁筒等。這種應(yīng)變計(jì)是利用真空沉積技術(shù)將半導(dǎo)體材料沉積在帶有絕緣層的試件上或藍(lán)寶石上制成的。它通過改變真空沉積時(shí)襯底的溫度來控制沉積層電阻率的高低，從而控制電阻溫度系數(shù)和靈敏度系數(shù)。因而能制造出適于不同試件材料的溫度自補(bǔ)償薄膜應(yīng)變計(jì)。薄膜型半導(dǎo)體應(yīng)變計(jì)吸收了金屬應(yīng)變計(jì)和半導(dǎo)體應(yīng)變計(jì)的優(yōu)點(diǎn)，并避免了它的缺點(diǎn)

試件材料與應(yīng)變材料線膨脹系數(shù)不同的影響。應(yīng)變片使用時(shí)，要粘貼在試件上，若試件材料與應(yīng)變片材料線膨脹系數(shù)不同，環(huán)境溫度變化時(shí)，應(yīng)變片會(huì)產(chǎn)生附加變形，產(chǎn)生附加電阻。用半導(dǎo)體應(yīng)變計(jì)測(cè)量應(yīng)變時(shí)，一般用電橋電路，初始時(shí)，電橋處于平衡狀態(tài)(即零點(diǎn))，當(dāng)溫度變化時(shí)，由于應(yīng)變片電阻溫度系數(shù)的存在和應(yīng)變片與試件的線膨脹系數(shù)不同，使得應(yīng)變片阻值發(fā)生變化，電橋偏離平衡狀態(tài)，在不感受應(yīng)變的情況下有輸出，稱之為熱零點(diǎn)漂移。溫度變化時(shí)，應(yīng)對(duì)溫度變化引起的虛假應(yīng)變進(jìn)行補(bǔ)償。是一種較理想的應(yīng)變計(jì)。

擴(kuò)散型半導(dǎo)體應(yīng)變計(jì)這種應(yīng)變計(jì)是將 P型雜質(zhì)擴(kuò)散到一個(gè)高電阻N型硅基底上，形成一層極薄的P型導(dǎo)電層,然后用超聲波或熱壓焊法焊接引線而制成。它的優(yōu)點(diǎn)是穩(wěn)定性好，機(jī)械滯后和蠕變小，電阻溫度系數(shù)也比一般體型半導(dǎo)體應(yīng)變計(jì)小一個(gè)數(shù)量級(jí)。缺點(diǎn)是由于存在P-N結(jié)，當(dāng)溫度升高時(shí),絕緣電阻大為下降。新型固態(tài)壓阻式傳感器中的敏感元件硅梁和硅杯等就是用擴(kuò)散法制成的它們之間可根據(jù)不同需要組合成多種型式。 應(yīng)變式壓力傳感器主要用來測(cè)量流動(dòng)介質(zhì)動(dòng)態(tài)或靜態(tài)壓力，例如動(dòng)力管道設(shè)備的進(jìn)出口氣體或液體的壓力、內(nèi)燃機(jī)管道壓力

技術(shù)參數(shù)：

介質(zhì)溫度 [°C]

-25...125

爆破壓力值

30000 mbar

12044 inH2O

3000 kPa

抗壓強(qiáng)度

6000 mbar

2400 inH2O

600 kPa

耐真空 [mbar]

-1000

壓力

相對(duì)壓力

齊平安裝

有

允許工作壓力的值[bar]

10

電氣數(shù)據(jù)

絕緣電阻最小值 [MΩ]

100; (500 V DC)

防護(hù)等級(jí)

III

反相保護(hù)

有

測(cè)量原理

流體靜力學(xué)的

工作電壓 [V]

20...32 DC

電流損耗 [mA]

3.6...21

開機(jī)延遲時(shí)間 [s]

1

3-線

工作電壓 [V]

18...32 DC

電流損耗 [mA]

< 45

開機(jī)延遲時(shí)間 [s]

0.5